一种在线检测铜刻蚀液的装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种在线检测铜刻蚀液的装置,进气管上设有两个支管并对应与第一容器和第二容器上的进气口相连,进液管上设有两个支管并对应与第一容器和第二容器上的进液口相连,出液管上设有两个支管并对应与第一容器和第二容器上的出液口相连,刻蚀机Tank通过连接管对应与第一容器和第二容器相连;PH计插接于第一容器上;在第二容器上设有测量管路,测量管路与出液管相连通,在测量管路上串联除泡器和流通池;三通阀一与三通阀二之间通过取样管相连通,三通阀一的另外两个阀口连接在第二容器上,三通阀二的另外两个阀口分别连接第二容器和进液管。本实用新型达到高准确性、高时效性、高效率的目标要求,从而解放人力,实现设备的高自动化程度。

基本信息
专利标题 :
一种在线检测铜刻蚀液的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021807580.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-26
授权号 :
CN212964607U
授权日 :
2021-04-13
发明人 :
朱启姚朱邦余曹卫生何文彬曹顺有
申请人 :
江苏福拉特自动化设备有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市经济技术开发区红枫科技园C3栋西段第3层
代理机构 :
南京汇盛专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
陈扬
优先权 :
CN202021807580.2
主分类号 :
G01N21/25
IPC分类号 :
G01N21/25  G01N1/10  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/25
颜色;光谱性质,即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响
法律状态
2021-04-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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