具有温控模块的化学机械抛光装置

授权

摘要

一种具有温控模块的化学机械抛光装置，包括：抛光盘，用于使抛光垫与其一起旋转；承载头，其配置有保持环以接收晶圆并将晶圆加载于所述抛光垫；承载头驱动装置，包括电机、驱动轴、气动组件、外壳和控制单元；电机和气动组件配置于所述外壳内，驱动轴从所述外壳底部伸出以将电机和气动组件的作用传递至承载头，外壳的外表面配置有光学传感器单元及用于致动该光学传感器单元的导轨，光学传感器单元可随导轨在外壳表面移动或移动至外壳下方，并且光学传感器单元具有至少一个可调节角度的红外热成像传感器或多个朝不同方向设置的红外热成像传感器以获取抛光垫的上表面的不同作业区域的温度梯度图像。

基本信息

专利标题：

具有温控模块的化学机械抛光装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021815303.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-27

授权号：

CN211589696U

授权日：

2020-09-29

发明人：

申兵兵孙张璞其他发明人请求不公开姓名

申请人：

华海清科（北京）科技有限公司

申请人地址：

北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021815303.6

主分类号：

B24B37/10

IPC分类号：

B24B37/10 B24B37/015 B24B49/12 B24B49/14 B24B57/02 B24B55/02