一种晶圆刷盘

授权

摘要

本实用新型公开了—种晶圆刷盘，包括固定台，所述固定台的一侧固定连接有合页，所述合页的另一端固定连接有固定柱，所述固定柱的下端固定连接有第一支撑板，所述第一支撑板的上端固定连接有支撑台，所述支撑台的内部固定连接有第一电动机，所述第一电动机的另一端延伸处设置有第一电动机轴，所述第一电动机轴的另一端固定连接有第二支撑板，所述第二支撑板的上端固定连接有吸盘，所述固定台的内部固定连接有第二电动机，所述第二电动机的一端延伸处设置有第二电动机轴，所述第二电动机轴的侧壁固定连接有平键，所述平键的侧壁设置有套筒，所述套筒的侧壁固定连接有毛刷。本实用新型中，晶圆洗刷方便，并且毛刷可以自由拆卸。

基本信息

专利标题：

一种晶圆刷盘

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021817715.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-27

授权号：

CN213001372U

授权日：

2021-04-20

发明人：

姬煜赵通

申请人：

江苏无恙半导体科技有限公司

申请人地址：

江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河路北侧、华山路西侧

代理机构：

深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

涂柳晓

优先权：

CN202021817715.3

主分类号：

B08B1/02

IPC分类号：

B08B1/02 H01L21/67