一种研磨机主轴转速传感器保护装置
授权
摘要
本实用新型公开了半导体制造领域内的一种研磨机主轴转速传感器保护装置，包括设置在研磨机台上的检测传感器，所述研磨机台表面设置有两个左右对称的凸台，两个凸台上设置有两个前后对称的保护罩，所述保护罩包括半圆形主罩体，主罩体的左右两侧分别与两个凸台相互对应设置，主罩体靠近相应凸台的一侧均设置有向下延伸的支撑部，支撑部底部设置有水平的安装边，安装边与相应凸台表面相贴合设置，所述安装边通过紧固件与相应凸台固定连接，所述主罩体朝外的一侧设置有向下延伸的遮挡部，遮挡部遮挡住两个凸台之间的间隙，遮挡部底部贴靠着研磨机台。本实用新型能够在主轴转速检测传感器上方位置加装保护罩，保障检测传感器表面洁净。
基本信息
专利标题 ：
一种研磨机主轴转速传感器保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021822687.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-27
授权号 ：
CN212722929U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
殷道雨许秀真刘明群孟强丁培杰
申请人 ：
江苏汇成光电有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区金荣路19号
代理机构 ：
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 ：
王峰
优先权 ：
CN202021822687.4
主分类号 ：
G01P1/02
IPC分类号 ：
G01P1/02 G01P3/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P1/00
仪器的零部件
G01P1/02
外壳
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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