一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架
授权
摘要
本实用新型涉及晶圆片固定技术领域，且公开了一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架，包括存放盒，所述存放盒底部的左右两侧均固定安装有电动推杆。该晶圆超净空间隔离盒内的固定架，通过上抬位于上端的隔板，使限位套杆与限位插杆分离，接着将晶圆片卡在底座的顶端，转动转动环，使螺杆转动，推动移动套杆下移，当与晶圆片接触时，底座就会下压，将伸缩杆以及连接弹簧压缩，通过伸缩杆和连接弹簧的缓冲形变上推底座，使底座与下压板之间具有一定的挤压力，并通过在底座与下压板上均设有弹性垫，使晶圆片可以稳定的夹在底座与下压板之间，从而有效避免设备在晃动的过程中，因为晶圆片的移位而受到粉尘污染，使得设备使用更加方便。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021836414.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-28
授权号 ：
CN213093181U
授权日 ：
2021-04-30
发明人 ：
张小军
申请人 ：
天津安净科技有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区天津自贸区（空港经济区）中心大道华盈大厦523室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021836414.5
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2021-04-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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