单晶炉副室清扫工装
授权
摘要
一种单晶炉副室清扫工装,包括可调节伸缩部件、支撑连接部件、擦拭部件，支撑连接部件固定设在可调节伸缩部件的顶部，支撑连接部件包括连接环、支撑杆、固定环，连接环、固定环同心设置，连接环套装在可调节伸缩部件的顶部，并与可调节伸缩部件的顶部固定连接，支撑杆的一端与连接环的外壁固定连接，支撑杆的另一端与固定环的内壁固定连接，擦拭部件固定设置在支撑连接部件的固定环上；本实用新型在使用时，针对不同尺寸炉型，可以通过对擦拭部件部件的尺寸进行调节，使其能够适应不同单晶炉副室的尺寸，从而可以对单晶炉副室内壁进行擦拭清洁，通过设置可调节伸缩部件，可通过调节长度来擦拭不同高度的副室，不仅重量减轻，也方便使用。
基本信息
专利标题 ：
单晶炉副室清扫工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021847250.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-28
授权号 ：
CN213033205U
授权日 ：
2021-04-23
发明人 ：
王忠保
申请人 ：
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请人地址 ：
宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号
代理机构 ：
宁夏合天律师事务所
代理人 ：
曹广涛
优先权 ：
CN202021847250.6
主分类号 ：
B08B9/087
IPC分类号 ：
B08B9/087 C30B35/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/08
清洗容器，如槽的清洗
B08B9/087
包括使用工具，如刷子、刮刀的方法的
法律状态
2021-04-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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