匀胶机配件和生产系统
授权
摘要

本实用新型公开了一种匀胶机配件和生产系统,其中,所述匀胶机配件包括载物台和匀胶仓,所述载物台具有固定匀胶件的承载面;所述匀胶仓环设于所述载物台的周缘,并形成有罩盖所述匀胶件的匀胶腔,所述匀胶仓与所述载物台同步旋转。本实用新型技术方案的匀胶机配件可有效解决大面积的晶圆匀胶不均匀或缺胶问题。

基本信息
专利标题 :
匀胶机配件和生产系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021851786.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-28
授权号 :
CN213670231U
授权日 :
2021-07-13
发明人 :
李莹赵东峰杨海涛李坤韩兴君郭培亮张玉良
申请人 :
歌尔股份有限公司
申请人地址 :
山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号
代理机构 :
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
代理人 :
晏波
优先权 :
CN202021851786.5
主分类号 :
B05C11/08
IPC分类号 :
B05C11/08  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C11/00
在B05C1/00至B05C9/00中没有专门列入的部件、零件及附件
B05C11/02
向已经涂布过的表面涂敷或分布液体或其他流体的装置;涂层厚度的控制
B05C11/08
通过操纵工件,如倾斜涂敷液体或其他流体
法律状态
2021-07-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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