一种检测薄膜膜厚的台阶仪
授权
摘要
本实用新型公开了一种检测薄膜膜厚的台阶仪，驱动金刚石压头下压，获取金刚石压头压合薄膜样品的压力值；驱动第一CCD镜头测量所述金刚石压头对样品薄膜上金刚石压痕的对角线长度，获取金刚石压痕的对角线长度；获取的金刚石压痕的对角线长度和金刚石压头压合薄膜样品的压力值进行计算，获得金刚石压头压合薄膜的硬度；获取的金刚石压头压合薄膜的硬度与标准压痕长度进行计算，得出触针压头在当前薄膜样品下，触针压头压合薄膜样品的压力值。方案通过触针压头旁增设金刚石压头，检测自动算出金刚石压头对不同薄膜下压时，压痕的区域对角线长度，逆算计算出触针最佳的下压力大小，提高了薄膜厚度量测的准确性以及减少触针压头的损坏率。
基本信息
专利标题 ：
一种检测薄膜膜厚的台阶仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021855533.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
CN212363110U
授权日 ：
2021-01-15
发明人 ：
温质康林佳龙乔小平
申请人 ：
福建华佳彩有限公司
申请人地址 ：
福建省莆田市涵江区涵中西路1号
代理机构 ：
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
林祥翔
优先权 ：
CN202021855533.5
主分类号 ：
G01B11/06
IPC分类号 ：
G01B11/06 G01D1/16 G06F17/15
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2021-01-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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