本实用新型提供了一种高精度气体过滤阀，属于机械技术领域。它解决了现有的气体过滤阀过滤阀过滤效果不理想且控制精度不高的问题。本高精度气体过滤阀，包括具有腔体的阀体，阀体上设有进气端以及出气端，阀体内设有阀座，阀座将腔体分隔成进气腔以及出气腔，阀座的中部设有流通通道，流通通道内穿设有阀芯，阀芯能够轴向移动且阀芯能够封堵流通通道，进气端内固连有过滤器，过滤器包括支架，支架的内侧设有网状过滤筒以及纸质过滤筒，网状过滤筒位于纸质过滤筒的内侧且两者同轴设置。本高精度气体过滤阀具有过滤效果较好且控制精度高的优点。