单晶炉用铜电极陶瓷保护套及单晶炉

授权

摘要

一种单晶炉用铜电极陶瓷保护套及单晶炉，包括上部护套、中部护套、下部护套，下部护套的顶部固定设置有第一凸边、第二凸边，第一凸边、第二凸边对向设置，中部护套设置在下部护套的上方，中部护套的底部表面上开设有第一凹槽、第二凹槽，第一凹槽、第二凹槽对向设置，第一凸边、第二凸边能够分别卡入到第一凹槽、第二凹槽内部，将中部护套与下部护套相连接，上部护套的底部表面上开设有沉孔，中部护套的顶部卡入到沉孔中，使中部护套与上部护套相连接，沉孔的底部开设有定位孔，定位孔贯穿上部护套；本实用新型在使用时，只需要将开裂位置的护套拆除，重新安装上完好的护套即可，完全不需要将陶瓷护套整体全部拆除，大大降低了生产成本。

基本信息

专利标题：

单晶炉用铜电极陶瓷保护套及单晶炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021879758.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-01

授权号：

CN212865061U

授权日：

2021-04-02

发明人：

王忠保李美平马成

申请人：

宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

申请人地址：

宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号

代理机构：

宁夏合天律师事务所

代理人：

曹广涛

优先权：

CN202021879758.4

主分类号：

C30B15/00

IPC分类号：

C30B15/00