本实用新型提供一种惰性气体脱水罐组，包括：脱氧罐、脱水罐，所述脱氧罐与脱水罐通过管路相连接；罐组输入管路，所述罐组输入管路与所述脱氧罐相连接；罐组输出管路，所述罐组输出管路与所述脱水罐相连接。需要处理的气体首先进行脱氧处理，再进行脱水处理，由于脱氧处理的过程中脱氧剂容易与氧气反应生成微量的水，因此将脱水处理放在脱氧处理后，避免脱氧处理的水分影响气体纯度；另一方面，所述脱水剂的脱水过程为物理吸附过程，解决了化学反应脱水产生杂质气体的问题。本实用新型还提供了一种惰性气体脱水系统，可以包括有多组惰性气体脱水罐组，使用多组惰性气体脱水罐组进行脱水，便于分压，保证气体脱水效果。