一种薄膜材料相变温度的测量装置

授权

摘要

本实用新型实施例公开了一种薄膜材料相变温度的测量装置，包括：光学组件；真空腔，所述真空腔的顶部开设有入光孔，所述入光孔与所述光学组件的入射光线相对设置；高温炉，所述高温炉设置于所述真空腔内，所述高温炉的底部和侧向均安装有电阻加热片，所述电阻加热片通过导线与电源连接；样品室，所述样品室设置于所述高温炉内，所述样品室通过导热结构与所述电阻加热片导热连接，且样品放置于所述样品室内，热电偶内嵌于所述样品室中，并通过探头与所述样品相接触。其提高了薄膜材料相变温度的测量准确性。

基本信息

专利标题：

一种薄膜材料相变温度的测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021907952.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-04

授权号：

CN212433027U

授权日：

2021-01-29

发明人：

金森林李硕任玲玲

申请人：

中国计量科学研究院

申请人地址：

北京市朝阳区北三环东路18号

代理机构：

北京悦和知识产权代理有限公司

代理人：

司丽春

优先权：

CN202021907952.9

主分类号：

G01N25/12

IPC分类号：

G01N25/12