一种晶圆微观自动检查平台
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆微观自动检查平台，包括X轴电机、X轴丝杆、X轴滑轨、Y轴电机、Y轴丝杆、Y轴滑轨、Z轴电机、Z轴丝杆、Z轴滑轨、箱体、操作盒、显示屏、工作桌、工作台、顶板、第一移动板、第一支撑板、安装板、第一连接板、第二移动板、横板、竖直板、接线孔、挡板、第二连接板、载盘、拖链、显微镜、固定板、第二支撑板和第三支撑板，该实用新型有利于调节晶圆与显微镜之间的位置关系，便于对晶圆进行观察，同时利用安装的显示屏和操作盒提高了工作效率，同时有利于直接显示出晶圆的观察形状。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆微观自动检查平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021908181.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-04
授权号 ：
CN213041183U
授权日 ：
2021-04-23
发明人 ：
孙灿杰李涛王广禄陈曦柯华榕
申请人 ：
憬承光电科技（厦门）有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市厦门火炬高新区（翔安）产业区翔虹路33号105室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021908181.5
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 G01B11/00 G01N21/88 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2021-04-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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