喷嘴和喷嘴系统
授权
摘要
本实用新型公开一种喷嘴和喷嘴系统,用于向半导体设备中的工艺腔输送气体,所述喷嘴设有第一匀气腔、多个第一送气通道和多个第二送气通道,所述第一匀气腔位于所述喷嘴中,多个所述第一送气通道和多个所述第二送气通道均环绕所述喷嘴的轴线设置,各所述第一送气通道的一端均用于与第一气源连通,各所述第一送气通道的另一端均与所述第一匀气腔连通,各所述第二送气通道的一端均与所述第一匀气腔连通,各所述第二送气通道的另一端均用于与所述工艺腔连通。上述喷嘴可以解决目前喷嘴中因不同的边缘进气孔与送气孔之间的间距不同,导致不同的边缘进气孔内的流量不同,造成工艺腔内的工艺气体的分布均匀性仍相对较差的问题。
基本信息
专利标题 :
喷嘴和喷嘴系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021910621.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-04
授权号 :
CN213943561U
授权日 :
2021-08-13
发明人 :
郭春郭士选
申请人 :
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 :
北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 :
北京国昊天诚知识产权代理有限公司
代理人 :
施敬勃
优先权 :
CN202021910621.0
主分类号 :
B05B1/00
IPC分类号 :
B05B1/00 B05B1/30
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B1/00
带或不带辅助装置,例如阀、加热装置的喷嘴、喷头或其他出口
法律状态
2021-08-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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