本实用新型公开了一种局部真空软吸盘，包括软盘、连接软管、配流盘、真空口和主体，所述主体底部与软盘上端面中心处连接，在软盘底面中部形成有向内凹陷的中间腔，在中间腔的周围的软盘底面上设有两圈或两圈以上的波浪形密封圈，所述主体上端连接有抽气管，抽气管上端通过真空口与真空发生器连接，抽气管下端管壁上设有排气孔，所述配流盘套接在抽气管上，配流盘内部设有环形孔，环形孔一侧与排气孔相连通，所述连接软管一端与配流盘连接，且与环形孔连通，另一端与软盘连接，且管口位于最内圈密封圈的外侧波谷处。本实用新型的局部真空软吸盘，不仅能在凹凸不平的工件表面可靠吸附，而且能使用功率较小的真空发生器来维持吸盘内部真空，结构简单，成本低廉。