基于电磁双控的超精密机床高精度加工装置及加工机床

授权

摘要

本实用新型公开了基于电磁双控的超精密机床高精度加工装置及加工机床，其技术方案要点是：运动平台包括运动部件以及与运动部件活动连接的支撑部件；运动部件设有磁控进给部件和电磁转化部件，电磁转化部件与磁控进给部件的输出端连接；电磁转化部件与支撑部件之间的接触面为平行面，磁控进给部件控制电磁转化部件的移动方向与接触面垂直设置；磁控进给部件、电磁转化部件的信号输入端均与控制器的信号输出端连接，磁控进给部件、电磁转化部件依次响应于运动平台的精加工反馈信号。在机床加工的最后一道工序时，在调整好进给量之后，通过电磁转化部件将运动部件吸附于支撑部件之上，不仅可以减小外界对该运动平台的干扰，也可以削弱身的振动强度。

基本信息

专利标题：

基于电磁双控的超精密机床高精度加工装置及加工机床

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021914567.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-04

授权号：

CN212444278U

授权日：

2021-02-02

发明人：

张敏刘有海戴晓静孙守利阳红尹承真杨光伟姜忠

申请人：

中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

申请人地址：

四川省绵阳市绵山路64号

代理机构：

成都行之专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

林菲菲

优先权：

CN202021914567.7

主分类号：

B23Q5/34

IPC分类号：

B23Q5/34