包膜装置

授权

摘要

本申请公开了一种包膜装置，包括设置有多个连通块的转台以及驱动转台旋转的旋转驱动件；任一连通块内具有两个独立的气流通道，这两个气流通道均与载台相通；一个连通块运动至第一工位时，工件上料，第一抽气机构通过第一通道对载台进行抽气、进而吸附工件；该连通块随转台旋转、运动至第二工位时，第三抽气机构通过第二通道对载台进行抽气，以避免第一抽气机构脱离载台时工件失去吸附；第二抽气机构回到第二工位、通过第一通道对载台进行抽气，以便于第三抽气机构脱离载台；如此，载台在工件接受处理前、始终保持连通有抽气机构的状态，进而保证工件在载台上状态稳定。

基本信息

专利标题：

包膜装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021939225.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-08

授权号：

CN213401321U

授权日：

2021-06-08

发明人：

不公告发明人

申请人：

无锡先导智能装备股份有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市无锡高新技术产业开发区新洲路18号先导二厂

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021939225.0

主分类号：

H01M50/10

IPC分类号：

H01M50/10