舱门气压调整装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种舱门气压调整装置,包括质谱仪本体、靶板、升降机构、可开合的舱门、导气组件和抽真空组件,其中,质谱仪本体内部设置有相互连通的真空腔体和过渡腔体,靶板和升降机构设于真空腔体的内部,升降机构用于驱动靶板上升或下降,当升降机构将靶板升起并置于过渡腔体与真空腔体之间时,过渡腔体与真空腔体相互独立;舱门设于质谱仪本体上且位于过渡腔体的一侧,舱门用于封盖或打开过渡腔体;导气组件和抽真空组件均与过渡腔体连通,导气组件用于向过渡腔体内部导入气体,抽真空组件用于对过渡腔体内部进行抽真空。根据本实用新型的舱门气压调整装置,便于在不破坏质谱仪的真空环境的情况下,实现样品的放入与取出。

基本信息
专利标题 :
舱门气压调整装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021953392.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-08
授权号 :
CN213071061U
授权日 :
2021-04-27
发明人 :
于津乌月恒
申请人 :
珠海美华医疗科技有限公司
申请人地址 :
广东省珠海市唐家湾镇港湾大道科技一路10号
代理机构 :
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 :
郑晨鸣
优先权 :
CN202021953392.0
主分类号 :
H01J49/04
IPC分类号 :
H01J49/04  G01N27/64  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J49/00
粒子分光仪或粒子分离管
H01J49/02
零部件
H01J49/04
导入或提取待分析试样的装置,如真空锁;电子光学或离子光学部件的外部调节装置
法律状态
2021-04-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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