高低温工作盘
授权
摘要
本实用新型提供一种高低温工作盘，包括工作盘本体、温控结构和隔热盘，温控结构包括加热盘、保温盘、空气增压器和温度传感器，保温盘与工作盘本体固定连接，加热盘安装在保温盘内，温度传感器固定在加热盘的底面，空气增压器安装在保温盘的外侧，隔热盘固定在保温盘的底面，在保温盘沿直径方向的两侧开设有空气入口和空气出口，在保温盘的顶面刻有至少一组与空气入口、空气出口相连通的圆环形空气流道。本实用新型可以通过加热盘实现高低温工作盘的加热功能，通过温度传感器与空气增压器的配合，能够实现高低温工作盘的快速降温功能和恒温功能。
基本信息
专利标题 ：
高低温工作盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022028335.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-16
授权号 ：
CN212305695U
授权日 ：
2021-01-05
发明人 ：
王毓樟田学光郑福志姜鑫高跃红李彦勋张雷
申请人 ：
长春光华微电子设备工程中心有限公司
申请人地址 ：
吉林省长春市北湖科技开发区盛北小街1188号
代理机构 ：
长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
高一明
优先权 ：
CN202022028335.8
主分类号 ：
H05B3/74
IPC分类号 ：
H05B3/74 H05B3/76
法律状态
2021-01-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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