一种用于碳化硅长晶炉的侧面石墨加热器
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
摘要

本申请提供了一种用于碳化硅长晶炉的侧面石墨加热器,包括石墨加热器一、石墨加热器二、石墨加热器三、2个石墨电极一、2个石墨电极二以及2个石墨电极三;本申请中,侧面石墨加热器不再是传统的一体件,改为由分体的石墨加热器一、石墨加热器二以及石墨加热器三组装而成,石墨加热器一、石墨加热器二以及石墨加热器三分别为独立电源控制,可调节相应石墨加热器的运行功率,有利于调节相应位置的热场,使得长晶温度梯度的控制更加灵活,可以提供多种梯度的温度设计、多种不同的局部热场以及多种不同的整个炉内热场;如此就可以在碳化硅晶体PVT长晶过程中精确的控制籽晶位置、晶体位置、料源位置的相应温度,明显改善长晶的热场条件。

基本信息
专利标题 :
一种用于碳化硅长晶炉的侧面石墨加热器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022035975.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-16
授权号 :
CN213061104U
授权日 :
2021-04-27
发明人 :
徐春良何才龙
申请人 :
山东众弘新材料有限公司
申请人地址 :
山东省济南市高新区综合保税区港兴三路北段1号济南药谷研发平台区1号楼B座379室
代理机构 :
济南诚智商标专利事务所有限公司
代理人 :
杨先凯
优先权 :
CN202022035975.1
主分类号 :
C30B23/06
IPC分类号 :
C30B23/06  C30B29/36  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B23/00
冷凝气化物或材料挥发法的单晶生长
C30B23/02
外延层生长
C30B23/06
沉积室、衬底或欲蒸发材料的加热
法律状态
2022-02-15 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : C30B 23/06
登记号 : Y2022980001111
登记生效日 : 20220126
出质人 : 山东众弘新材料有限公司
质权人 : 中国银行股份有限公司济南泉城支行
实用新型名称 : 一种用于碳化硅长晶炉的侧面石墨加热器
申请日 : 20200916
授权公告日 : 20210427
2021-04-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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