本实用新型涉及一种半导体清洗设备的废水回收装置，包括筒体，流体腔和检测腔，所述筒体的壁部设有孔洞，筒体的顶部设有流体入口，所述流体腔设置在筒体的外壁上，流体腔与孔洞连通，流体腔设有第一进液口和第二进液口，第一进液口设置在流体腔的上方，第二进液口设置在流体腔的下方，所述检测腔设置在筒体的外壁上，检测腔与筒体内部通过连通孔连通，所述检测腔的上方设有检测孔。本实用新型的一种半导体清洗设备的废水回收装置能够使处理药剂能够均匀分散后进入筒体内，加快其扩散，提升反应效率。此外，能够方便对混合液体进行检测，判断反应效果。