检测工装和检测系统
授权
摘要
本实用新型公开一种检测工装和检测系统，该检测工装用于半导体工件检测，所述检测工装包括工装支架和挡板，所述挡板与所述工装支架活动连接，并围合形成放置槽，所述放置槽用于限位工件，所述挡板用于调节所述放置槽的大小，所述放置槽的底壁设有让位口。本实用新型的旨在提供一种方便检查半导体工件两侧表面的检测工装，该检测工装有效提高了产品良率，同时能够实现调节，提高了检测工装的通用性。
基本信息
专利标题 ：
检测工装和检测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022053729.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-17
授权号 ：
CN212721299U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
牛雪雷于上家
申请人 ：
青岛歌尔微电子研究院有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路396号106室
代理机构 ：
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
代理人 ：
梁馨怡
优先权 ：
CN202022053729.9
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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