一种蒸发台
授权
摘要
本实用新型公开了一种蒸发台，包括：衬底载体，所述衬底载体具有一镂空开口；回转机构，所述回转机构与所述衬底载体连接，所述回转机构包括回转密封外层、回转密封中层、回转密封内层，所述回转密封内层为空心结构，所述回转密封内层与所述衬底载体的镂空开口对应；且，所述回转密封中层可在所述回转密封外层与所述回转密封内层之间转动；驱动机构，所述驱动机构与所述回转机构连接，且，所述驱动机构驱动所述回转机构转动。本实用新使用双层回转密封结构取代轴心驱动的方式，规避了中间位置支撑条遮挡传感器的问题，使得测定结果准确，工艺设定更为直接，更为高效。
基本信息
专利标题 ：
一种蒸发台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022055814.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-18
授权号 ：
CN213084836U
授权日 ：
2021-04-30
发明人 ：
张军委钱军王福平
申请人 ：
爱发科真空技术（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区苏虹东路277号
代理机构 ：
北京同恒源知识产权代理有限公司
代理人 ：
阴知见
优先权 ：
CN202022055814.9
主分类号 ：
B65H5/18
IPC分类号 ：
B65H5/18 B65H37/00 G01B21/08 G01B21/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65H
搬运薄的或细丝状材料，如薄板、条材、缆索
B65H5/00
供给已和垛堆分开的物件；向机器供给物件
B65H5/18
用转盘或旋转工作台
法律状态
2021-04-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
