一种金属蒸气供应装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种金属蒸气供应装置，包括真空容器，所述真空容器一侧底部固定连接有真空泵，所述真空容器内部中心处设置有固定架，所述固定架外壁固定连接有若干个第一挂具。本实用新型金属蒸气供应装置设置有第一喷头、第二喷头、第一挡板、第二挡板和螺旋搅拌棒，通过第一喷头和第二喷头将反应气体喷向螺旋搅拌棒，利用电机带动螺旋搅拌棒运动，使得气体分别向第一挡板和第二挡板方向运动，与第一蒸发源和第二蒸发源反应生成金属的卤化物蒸汽，扩散并沉积到工件上，能够使金属蒸汽扩散的更加均匀，并且即使在蒸气压低处的金属也能轻易反应得到蒸汽，使金属蒸汽能与工件充分接触，有效提高了工件的耐磨等性能，提高了工件的加工质量。
基本信息
专利标题 ：
一种金属蒸气供应装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022058192.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-18
授权号 ：
CN213417008U
授权日 ：
2021-06-11
发明人 ：
肖石琴
申请人 ：
昆山阿斯恩金属材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江南路288号
代理机构 ：
北京兴智翔达知识产权代理有限公司
代理人 ：
郭卫芹
优先权 ：
CN202022058192.5
主分类号 ：
C23C16/448
IPC分类号 ：
C23C16/448 C23C16/455 C23C16/46 E06B5/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/448
产生反应气流的方法，例如通过母体材料的蒸发或升华
法律状态
2021-06-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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