光刻胶过滤芯的储存装置
授权
摘要
本实用新型公开一种光刻胶过滤芯的储存装置,包括过滤芯组件、存储液通入组件及废液收集组件,所述过滤芯组件包括囊式过滤芯、排气球阀、进液球阀和出液球阀,所述囊式过滤芯上开设有排气口、进液口和出液口,所述排气球阀罩设于所述排气口上,所述进液球阀罩设于所述进液口上,所述出液球阀罩设于所述出液口上。本实用新型为一种光刻胶过滤芯的储存装置,可以暂时存储光刻胶囊式过滤芯,并且将囊式过滤芯与滤芯液存储桶连通,使得滤芯液可以充满整个过滤芯,保证了过滤芯的过滤功能,在下一次需要使用时方便取出,而不需要每次都更换新的滤芯,降低了成本损耗,提高了产品的竞争力。
基本信息
专利标题 :
光刻胶过滤芯的储存装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022069137.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-18
授权号 :
CN213942331U
授权日 :
2021-08-13
发明人 :
何家鸣申浩司斌李伟界
申请人 :
信利(惠州)智能显示有限公司
申请人地址 :
广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号
代理机构 :
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 :
梁睦宇
优先权 :
CN202022069137.6
主分类号 :
B01D35/00
IPC分类号 :
B01D35/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D35/00
具有不专门包括在B01D24/00至B01D33/00组中的特征或应用的过滤装置;用于过滤的辅助装置;过滤器外壳结构
法律状态
2021-08-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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