真空置换室装置

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摘要

本实用新型公开了一种真空置换室装置，包括腔体和密封门，所述密封门将所述腔体隔成第一腔体和第二腔体，所述第一腔体的入气口与进气管连通，所述第二腔体的入气口与所述第一腔体的出气口连通，所述第二腔体的出气口与真空泵连通，所述第二腔体的入气口与所述第一腔体的出气口的连通路径上设有第一阀门，所述第二腔体的出气口与所述真空泵的连通路径上设有第二阀门，所述第二腔体上设有压力表。本实用新型通过密封门将腔体分为需要换气的工作腔和进行换气的换气腔，对工作腔抽真空再使换气腔内的新气体在气压差下自动流入工作腔，降低了空气对工作腔内气体浓度的影响，实现了对工作腔内气体的快速置换，并且节约了新气体的使用量。

基本信息

专利标题：

真空置换室装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022078755.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-21

授权号：

CN213238468U

授权日：

2021-05-18

发明人：

霍李均吕张忠高远

申请人：

苏州博涛机电设备有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市常熟市辛庄镇嘉菱村8号

代理机构：

苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

陈华红子

优先权：

CN202022078755.7

主分类号：

F27D7/06

IPC分类号：

F27D7/06