本实用新型公开了一种干法镀膜设备精密件用角铁钻孔装置，包括支撑架、支撑杆和气动滑轨，还包括设置在支撑架顶部的支撑机构和设置在气动滑轨上的钻孔机构，所述支撑机构包括滑轨、限位槽、滑块、通孔、固定螺钉和支撑块，所述支撑架顶部两侧对称设有滑轨，所述滑轨前侧开设有限位槽。本实用新型通过设置滑轨、限位槽、滑块、通孔、固定螺钉和支撑块，有利于将需要钻孔的角铁放置在支撑块上，在钻孔时对角铁的一侧进行支撑，根据角铁的长度可调节两个支撑块之间的距离，通过调节滑块在滑轨上的位置，方便对不同长度的角铁进行支撑。