一种用于晶圆切割机的冷却液循环供给装置
授权
摘要

本实用新型属于晶圆切割机领域,具体涉及一种用于晶圆切割机的冷却液循环供给装置,包括切割机,所述切割机的前表面滑动安装有滑动门,且所述切割机的内部安装有导轨,所述导轨上滑动安装有滑动台,所述滑动台上安装有切割机构,所述切割机构的下方设置有加工台;所述切割机的下方安装有循环柜,所述循环柜的内部设置有循环装置,所述循环装置包括安装在所述加工台下方的引水板,所述引水板的底部安装有导液管;对切割机进行改进,在切割机内置循环装置,可对使用后的冷却液进行收集、过滤、存储和循环供给,对处理后的冷却液进行循环使用以降低生产成本;循环装置使冷却液由原本的留置状态变为流通状态,防止留置的冷却液造成机体锈蚀。

基本信息
专利标题 :
一种用于晶圆切割机的冷却液循环供给装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022109936.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-23
授权号 :
CN213947047U
授权日 :
2021-08-13
发明人 :
秦可勇何彬
申请人 :
江苏众晶半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区行创四路19-7号
代理机构 :
上海塔科专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
耿恩华
优先权 :
CN202022109936.1
主分类号 :
B28D5/00
IPC分类号 :
B28D5/00  B28D7/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
法律状态
2021-08-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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