高直线度移动结构
授权
摘要

本实用新型公开了一种高直线度移动结构,移动组件包括空气衬套及运动轴,运动轴安装于空气衬套中并与空气衬套之间形成气膜,导向组件包括底座、滑动件、弹性结构以及轴承,滑动件滑动安装于底座,弹性结构位于底座及滑动件之间向滑动件提供弹力,轴承转动安装于滑动件,轴承与运动轴抵触向运动轴提供导向力,由于空气衬套与运动轴不接触,没有磨耗、污染,适合应用在高无尘要求的环境,没有磨擦导致的运动轴变形,性能稳定;空气衬套通过微米等级的气膜,将运动轴保持在中心,影响直线度只有运动轴本身的真圆度(车床加工较易实现);轴承在旋转过程因本身加工精度而产生的偏心,则通过缓冲弹簧的设计,在保有特定导向性的情况下,吸收误差。

基本信息
专利标题 :
高直线度移动结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022115312.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-23
授权号 :
CN214063565U
授权日 :
2021-08-27
发明人 :
王冠文侯峰庄得粮
申请人 :
长园半导体设备(珠海)有限公司
申请人地址 :
广东省珠海市高新区科技八路5号3栋(研发楼)5楼
代理机构 :
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
葛燕婷
优先权 :
CN202022115312.0
主分类号 :
F16C29/00
IPC分类号 :
F16C29/00  F16C41/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16C
轴;软轴;在挠性护套中传递运动的机械装置;曲轴机构的元件;枢轴;枢轴连接;除传动装置、联轴器、离合器或制动器元件以外的转动工程元件;轴承
F16C
轴;软轴;在挠性护套中传递运动的机械装置;曲轴机构的元件;枢轴;枢轴连接;除传动装置、联轴器、离合器或制动器元件以外的转动工程元件;轴承
F16C29/00
用于只作直线运动零件的轴承
法律状态
2021-08-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN214063565U.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332