一种具有连接头的喷射管
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有连接头的喷射管,旨在解决连接头与喷射管本体的连接可靠性较差,寿命较短的不足。该实用新型包括喷射管本体和连接头,喷射管本体上设有进气孔,连接头包括装配管、转接头和包围块,装配管插装在转接头上,所述装配管插装在进气孔中且与进气孔适配,包围块与转接头抱合喷射管本体,喷射管本体的两端分别设有堵头,堵头包括堵头头部和堵头尾部,堵头头部上设有呈正方形的凹槽,堵头尾部呈圆柱状,堵头尾部的侧壁上设有外螺纹,堵头螺纹连接在喷射管本体上。该结构大大延长了使用周期,提供了一种稳定可靠的硅部件连接方式,排除了连接部位带入外部污染物的可能性。
基本信息
专利标题 :
一种具有连接头的喷射管
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022125618.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-24
授权号 :
CN213507287U
授权日 :
2021-06-22
发明人 :
祝建敏范明明李长苏
申请人 :
杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市滨江区滨康路668号C幢
代理机构 :
杭州杭诚专利事务所有限公司
代理人 :
郑汝珍
优先权 :
CN202022125618.4
主分类号 :
C30B25/14
IPC分类号 :
C30B25/14 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B25/00
反应气体化学反应法的单晶生长,例如化学气相沉积生长
C30B25/02
外延层生长
C30B25/14
气体供给或排出用的装置;反应气流的变换
法律状态
2021-06-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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