本实用新型的目的是提供一种乙硅烷制备的尾气处理排放设备，通过进气管进尾气，尾气可进入到缓冲罐充暂时存储，缓冲罐的尾气之后出气管、总进管和分进管进入到至少两个活性炭过滤器内进行过滤，这样适应尾气流量大的情况，尾气还可直接通过直进管连接通入到活性炭过滤器中过滤，这样适应尾气流量小的情况，过滤之后的尾气通过排气管排出，至少两个活性炭过滤器可以高效的过滤，在需要清洗某个活性炭过滤器时，通过阀门关闭该活性炭过滤器，其余的可继续工作，可以兼顾，适应性强，整个设备可以高效的对尾气进行处理排放，适用于生产中。