一种尾气处理及粒子吸附装置

授权

摘要

本实用新型涉及真空镀膜系统技术领域，尤其是指一种尾气处理及粒子吸附装置，包括尾气进气口、反应气体进气口、吸附组件以及出气口；所述吸附组件包括若干的吸附件，相邻的吸附件之间形成与空气隔绝的吸附通道，相邻的吸附通道彼此连通，所述吸附通道与所述尾气进气口、反应气体进气口以及出气口均连通。本实用新型提供的一种尾气处理及粒子吸附装置，不会出现吸附通道被堵塞的情况，可以更加充分地对需要过滤的材料进行吸附工作。

基本信息

专利标题：

一种尾气处理及粒子吸附装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022144346.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-25

授权号：

CN213528082U

授权日：

2021-06-25

发明人：

李湘林李力钟权平

申请人：

东莞纳锋微电子装备有限公司

申请人地址：

广东省东莞市松山湖园区学府路1号7栋208室

代理机构：

东莞市华南专利商标事务所有限公司

代理人：

张明

优先权：

CN202022144346.2

主分类号：

B01D53/76

IPC分类号：

B01D53/76