一种陶瓷球安装装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种陶瓷球安装装置，所述陶瓷球安装装置包括壳体、设置于壳体顶部的推杆以及设置于壳体内部的压件；所述壳体的下表面设置有通孔，使所述压件的下表面与陶瓷球接触；所述推杆用于推动压件下压，使陶瓷球压入安装孔。所述陶瓷球安装装置通过控制壳体下表面的壁厚来控制陶瓷球高出安装孔的高度，从而使过盈安装的陶瓷球的露出高度一致，保证了晶圆的冷却效果，进而保证了磁控溅射的镀膜效果。
基本信息
专利标题 ：
一种陶瓷球安装装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022163029.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-27
授权号 ：
CN213417002U
授权日 ：
2021-06-11
发明人 ：
姚力军边逸军潘杰王学泽张林桥
申请人 ：
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
王岩
优先权 ：
CN202022163029.5
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-06-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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