HVPE排气、镓分离收集装置
授权
摘要
本实用新型公开了HVPE排气、镓分离收集装置,它包括：反应腔（1）；分流装置（2），所述分流装置通过腔体排气管与反应腔连通；法兰（3），所述法兰与分流装置连通；第一阀门（4），所述第一阀门与分流装置连通；镓容器（5），所述镓容器与第一阀门连通；第二阀门（6），所述第二阀门与镓容器连通；排气管路（7），所述排气管路分别与第二阀门和法兰连通。本实用新型的有益效果是金属镓会通过分流装置流到镓容器内，不会流入排气管中，镓容器内流入一定量金属镓时，关闭第一阀门和第二阀门，更换镓容器即可，这样整个过程不用更换排气管。大大减少了设备保养频率，从而提高了生产效率，同时更好的回收金属镓。而且所用装置的结构简单有效。
基本信息
专利标题 ：
HVPE排气、镓分离收集装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022168549.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
CN213327938U
授权日 ：
2021-06-01
发明人 ：
李枝旺王亮
申请人 ：
镓特半导体科技（铜陵）有限公司
申请人地址 ：
安徽省铜陵市经济技术开发区天门山北道3139号
代理机构 ：
铜陵市嘉同知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴晨亮
优先权 ：
CN202022168549.5
主分类号 ：
C30B29/40
IPC分类号 ：
C30B29/40 C30B25/14 C22B58/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/40
AⅢBv化合物
法律状态
2021-06-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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