一种真空测试模具
授权
摘要
本实用新型提供了一种真空测试模具，该模具由模块A以及模块B共同组成，两组所述模块A对应密封设置于原料混合器的两侧部，所述模块B密封设置于所述原料混合器的下端部，所述模具对所述原料混合器进行密封，以控制其内部的真空度；通过设置由模块A和模块B共同组成的模具，对应与原料混合器本体的侧部和端部进行密封连接，并与真空泵以及氦气测漏机相串联，从而可有效控制原料混合器内部的真空度，真空压力可达到集成电路制造需求，且具备大范围检漏能力，解决了现有技术中存在的真空度难以控制和测量的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
一种真空测试模具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022184076.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
CN212844138U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
杨苏圣
申请人 ：
湖州科秉电子科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省湖州市成业路389号3号厂房
代理机构 ：
北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人 ：
周孝林
优先权 ：
CN202022184076.8
主分类号 ：
G01L21/00
IPC分类号 ：
G01L21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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