刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装
授权
摘要
本实用新型公开了刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装，其特点是包括工装本体，工装本体上设置有异形槽，异形槽的初始端与末端设置为互相平行；所述的工装本体还设置有转向工装a和转向工装b，转向工装a与异形槽的初始端相配合，转向工装b与异形槽的末端相配合；所述的异形槽的深度及宽度均大于冷却管的直径；优点是结构简单，便于操作，可以批量制作冷却管，大大提高了工作效率，弯管质量稳定，弯管后的冷却管能快速的埋入刻蚀机反应腔顶盖内，降低因铜管与刻蚀机反应腔顶盖间碰撞产生磕伤的风险，从而提高产品合格率。
基本信息
专利标题 ：
刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022199576.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
CN213495829U
授权日 ：
2021-06-22
发明人 ：
贾昆良
申请人 ：
靖江先锋半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市靖江市城南园区德裕路8号
代理机构 ：
靖江市靖泰专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈秀兰
优先权 ：
CN202022199576.9
主分类号 ：
B21D7/16
IPC分类号 ：
B21D7/16 B21D43/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B21
基本上无切削的金属机械加工；金属冲压
B21D
金属板或管、棒或型材的基本无切削加工或处理；冲压金属
B21D7/00
棒、型材或管的弯曲
B21D7/16
辅助设备，如用于弯曲的加热或冷却
法律状态
2021-06-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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