一种配置全自动多组串联纳米过滤装置的混酸系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种配置全自动多组串联纳米过滤装置的混酸系统，涉及蚀刻液配置技术领域。本实用新型包括氯化氢原料罐、氟化氢原料罐、硝酸原料罐、混合槽、成品罐和纳米过滤装置，氯化氢原料罐、氟化氢原料罐和硝酸原料罐均通过管道与混合槽的进口固定连接。本实用新型通过设置三通、纳米过滤装置、取样管、隔膜泵、电磁阀和PLC控制柜，使得该系统可自动检测蚀刻液的金属颗粒直径与颗粒浓度，自动对蚀刻液进行过滤，直至达到标准，整个系统自动化程度高，配置的蚀刻液质量高，通过设置一级纳米过滤器、二级纳米过滤器、三级纳米过滤器和四级纳米过滤器，四级过滤可将蚀刻液内的大直径金属颗粒彻底过滤干净。
基本信息
专利标题 ：
一种配置全自动多组串联纳米过滤装置的混酸系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022199822.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
CN213726289U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
苏富琨余光明戴荣昌
申请人 ：
福建雅鑫电子材料有限公司
申请人地址 ：
福建省三明市清流经济开发区氟新材料产业园
代理机构 ：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
许娆
优先权 ：
CN202022199822.0
主分类号 ：
B01F15/02
IPC分类号 ：
B01F15/02 B01F15/00 B01F3/20
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合，例如，溶解、乳化、分散
B01F15/00
混合机附件
B01F15/02
送料或卸料机构
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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