本实用新型提供了一种光刻机的送料装置，属于光刻机技术领域。包括支撑组件、运送组件和翻转组件，其中，支撑组件中的支撑架固定于支撑箱。运送组件中的第一驱动件固定于支撑架，安装块固定于第一驱动件，齿条固定于安装块，齿轮与齿条传动连接，第一转轴一端固定于齿轮，另一端与摇摆杆固定，第一转轴与支撑架转动连接。翻转组件中的安装架固定于摇摆杆的一端，电机固定于安装架的一侧，第二转轴的一端固定于电机，第二转轴的另一端与安装架转动连接，第二驱动件固定安装于第二转轴，吸盘固定安装于第二驱动件，吸盘与气泵连通，气泵固定安装于支撑箱的内部。整个装置结构简单，操作方便，制造成本低，实现光刻机的自动送料。