一种多线切机切割室清理系统
授权
摘要

本实用新型提供一种多线切机切割室清理系统,至少具有:一组用于清理硅片料座上方的安装仓和料座下方的金刚线网的喷管组件一和喷管组件二;喷管组件一和喷管组件二均沿料座长度方向设置;喷管组件一分别朝安装仓侧壁和金刚线网靠近槽轮一侧的上端面喷液;喷管组件二朝金刚线网靠近槽轮一侧的下端面喷液;从喷管组件一和喷管组件二喷出的液流可沿料座高度和/或金刚线网宽度而调整。本实用新型能使切割室保持清洁,完全覆盖安装仓及所有金刚线的位置,结构设计合理,能使切割室内安装仓壁、金刚线网上的杂质快速被清洁掉,降低硅粉及杂质对硅片表面划伤的几率,清理效果好且效率高。

基本信息
专利标题 :
一种多线切机切割室清理系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022255500.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-12
授权号 :
CN214163579U
授权日 :
2021-09-10
发明人 :
李大伟危晨武瑞杨旭洲张小龙李斌贾瑞波
申请人 :
无锡中环应用材料有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市宜兴市宜兴经济技术开发区东氿大道国电光伏厂内
代理机构 :
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
栾志超
优先权 :
CN202022255500.3
主分类号 :
B28D7/02
IPC分类号 :
B28D7/02  B28D5/04  B08B3/02  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D7/00
专门适用于与本小类其他各组的机械或其装置一起使用的附件
B28D7/02
用于清除或消除灰尘的,例如通过喷射液体;用于冷却工件的
法律状态
2021-09-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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