一种晶圆清洗水槽用快速排水阀
授权
摘要
本实用新型涉及一种晶圆清洗水槽用快速排水阀，包括阀体、密封圈、堵孔件、驱动组件以及定位件；所述阀体上设置有安装面和水道，所述密封圈通过安装面与阀体连接，所述安装面位于阀体的两端，所述堵孔件和驱动组件均位于水道内，所述堵孔件与其中一个安装面位置相对应，所述堵孔件通过驱动组件与阀体连接，所述驱动组件通过连接条与阀体连接，所述驱动组件上设置有进气管和出气管，所述堵孔件通过定位件与驱动组件连接。本实用新型提供一种晶圆清洗水槽用快速排水阀，降低了设备成本，减少了阀门占用的空间，减少了电能的消耗，节约了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆清洗水槽用快速排水阀
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022256588.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-12
授权号 ：
CN213361157U
授权日 ：
2021-06-04
发明人 ：
王健陈云利李军周志强朱洋洋刘斌
申请人 ：
苏州尊恒半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇南淞路303号2号房
代理机构 ：
苏州拓源科佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵艾亮
优先权 ：
CN202022256588.0
主分类号 ：
F16K3/24
IPC分类号 ：
F16K3/24 F16K3/314
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K3/00
闸门阀或滑阀，即带闭合元件的切断装置，闭合元件为了开启和关闭有沿阀座的滑动
F16K3/22
带有形如旋转实体表面的密封面
F16K3/24
带有圆柱形阀元件
法律状态
2021-06-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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