单体进料装置

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摘要

单体进料装置，其包括至少一储能单元、一工艺气体单元以及至少一单体存储单元，其中所述储能单元、所述工艺气体单元以及所述单体存储单元通过至少一第一三通接头分别连通，且所述工艺气体单元、所述储能单元和所述单体存储单元能够全部或部分连通。本实用新型所述的单体进料装置通过设置多条管路和支路分别将储能单元、工艺气体单元和单体存储单元通过不同的管路进行连通，从而保证单体在进料过程中能够隔绝空气，以避免单体与空气中的成分发生反应而产生质变，因此能够提高单体进料后的纯度。

基本信息

专利标题：

单体进料装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022278364.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-13

授权号：

CN215354423U

授权日：

2021-12-31

发明人：

宗坚沈兴良

申请人：

江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

骆苏华

优先权：

CN202022278364.X

主分类号：

B05C11/10

IPC分类号：

B05C11/10