一种等离子源用氧气进气装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种等离子源用氧气进气装置，包括进气管道，进气管道的进气端内固定设有过滤安装筒，过滤安装筒沿周轴向开设有若干气体均布孔，过滤安装筒内插设安装有过滤芯。本实用新型可以对氧气进行过滤，提高氧气的洁净度，且提高了氧气的活化度，保证电离的过程，提高了整个等离子源的使用寿命；提高了氧气在电离室中的均匀度，进而保证了电离的过程，提高了电离的效率。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子源用氧气进气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022278697.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-13
授权号 ：
CN215050637U
授权日 ：
2021-12-07
发明人 ：
徐鸣唐欢欢安建昊
申请人 ：
江苏微凯机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市广陵区创业路20号1
代理机构 ：
扬州邗诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴淑芳
优先权 ：
CN202022278697.2
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2021-12-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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