本实用新型提供了一种用于硅基单体合成的固定床反应装置，所述固定床反应装置包括依次连接的供料单元、固定床反应单元和产物收集单元；所述固定床反应单元包括固定床反应器和第一温控装置；所述固定床反应器顶部入口的截面积自上而下逐渐增大，所述固定床反应器内部自上而下依次设置气体均布区、固相物料区、阻隔区和筛板支撑区。本实用新型通过对固定床反应器的入口结构及床层结构的改进，前者可以有效减小气体旋涡区的面积，减小气体扰动，保证气流的稳定性，后者则可以保证气体的均匀合理分布，同时避免粉料进入筛板造成堵塞，保证反应稳定进行；所述装置结构简单明确，操作安全，性能稳定，用于催化评价时重现性高。