一种密封式旋转匀胶设备
授权
摘要
本实用新型一种密封式旋转匀胶设备,包含有主机架(3),所述主机架(3)上竖向设置有转动主轴(10),所述转动主轴(10)由主动力机构(7)驱动旋转,载物盘(4)固定安装于转动主轴(10)的顶部,且载物盘(4)位于主机架(3)的平台面上方,基片顶升机构(9)安装于主机架(3)的平台面下方,且基片顶升机构(9)的顶升件向上穿过主机架(3)的平台面,载物盘(4)上方设置有同步盖(2),且同步盖(2)的顶部中心轴旋转插接在同步盖提升机构(1)上。本实用新型一种密封式旋转匀胶设备,能够方便的对超大尺寸基片进行旋涂匀胶。
基本信息
专利标题 :
一种密封式旋转匀胶设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022291277.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-15
授权号 :
CN214021741U
授权日 :
2021-08-24
发明人 :
汪竹陈酉冰魏益波刘正伟
申请人 :
江苏雷博科学仪器有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市江阴市高新区金山路201号创智产业园数码港A座5楼南
代理机构 :
江阴市权益专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈强
优先权 :
CN202022291277.8
主分类号 :
B05C11/08
IPC分类号 :
B05C11/08 B05C15/00 B05D3/04
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C11/00
在B05C1/00至B05C9/00中没有专门列入的部件、零件及附件
B05C11/02
向已经涂布过的表面涂敷或分布液体或其他流体的装置;涂层厚度的控制
B05C11/08
通过操纵工件,如倾斜涂敷液体或其他流体
法律状态
2021-08-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载