一种真空镀膜机加热设备

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摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜机加热设备，属于加热设备领域，解决传统真空镀膜机加热设备只能进行单面加热而导致工作效率低的问题，该设备包括顶板和用于放置靶材的底板，所述的顶板通过两个第一电动推杆与机体的顶部连接，所述的顶板底部设有多个第一加热管，所述的顶板外围设有将第一加热管包围的反射罩，所述的反射罩为锥形罩；所述的底板通过两个第二电动推杆与机体的底部连接，所述的底板内设有安装腔，所述的安装腔内设有多个第二加热管；还包括四根顶杆，四根所述顶杆对称布置在两个第二电动推杆之间的机体上。本实用新型的真空镀膜机加热设备，能够同时对靶材的顶面和底面进行加热，有效提高工作效率。

基本信息

专利标题：

一种真空镀膜机加热设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022293849.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-15

授权号：

CN213680861U

授权日：

2021-07-13

发明人：

宋解放

申请人：

襄阳先泰电子有限公司

申请人地址：

湖北省襄阳市樊城区松鹤西路72号

代理机构：

广州海心联合专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

马赟斋

优先权：

CN202022293849.6

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24