晶圆测试用旋转机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆测试用旋转机构，包括基板、晶圆载物台、传动带模组、旋转微调装置，所述晶圆载物台、传动带模组、旋转微调装置设于基板上，所述晶圆载物台与旋转微调装置通过传动带模组传动连接；所述晶圆载物台用于吸附晶圆，所述晶圆载物台相对基板可转动；所述传动带模组包括主动轮、从动轮以及传动连接主动轮与从动轮的同步传动带，所述从动轮设于晶圆载物台；所述旋转微调装置包括连接筒、转轴以及旋钮，所述连接筒设于基板，所述转轴可转动的设于连接筒内，所述转轴上端连接主动轮，所述转轴下端连接旋钮。本实用新型提供的晶圆测试用旋转机构，检测可靠性好。
基本信息
专利标题 ：
晶圆测试用旋转机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022300222.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-14
授权号 ：
CN213875444U
授权日 ：
2021-08-03
发明人 ：
夏儒斐
申请人 ：
东舟技术（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区68区安通达工业厂区1栋厂房301
代理机构 ：
深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张凡
优先权 ：
CN202022300222.9
主分类号 ：
G01N21/84
IPC分类号 ：
G01N21/84 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
法律状态
2021-08-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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