本申请涉及调平装置技术领域，特别是涉及一种晶圆盒调平装置。该晶圆盒调平装置包括平台组件以及第一调节组件，第一调节组件的一端用于承载晶圆盒，另一端转动地安装于平台组件，第一调节组件能够相对平台组件升降，并带动晶圆盒相对平台组件运动，以调节晶圆盒相对平台组件的位置。本申请的优点在于：在晶圆盒需要进行水平调节时，能够通过转动第一调节组件，使晶圆盒水平，同时，可实现单独调平晶圆盒，调节更加简易，结构简单加工成本低且便于检修，避免因晶圆盒调平装置在使用时因振动磨损导致不水平，需要通过调节整个装置水平的方式来调平晶圆盒。