换能器和MEMS设备
授权
摘要
公开了一种换能器和MEMS设备。换能器包括支撑体和机械地耦合到支撑体的悬置结构。悬置结构具有沿轴线彼此相对的第一表面和第二表面，并且被配置为在具有与轴线平行的至少一个分量的振荡方向上振荡。第一压电换能器被布置在该悬置结构的第一表面上，并且第二压电换能器被布置在该悬置结构的第二表面上。本公开的换能器和MEMS设备克服了悬置结构的翘曲或偏转的缺陷，提高了可靠性。
基本信息
专利标题 ：
换能器和MEMS设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022312262.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-16
授权号 ：
CN214154836U
授权日 ：
2021-09-07
发明人 ：
L·塞吉齐F·韦尔切西C·佩德里尼
申请人 ：
意法半导体股份有限公司
申请人地址 ：
意大利阿格拉布里安扎
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
董莘
优先权 ：
CN202022312262.5
主分类号 ：
H04R17/00
IPC分类号 ：
H04R17/00 H04R31/00
法律状态
2021-09-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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