MEMS开关、电子装置以及电子香烟
授权
摘要
本公开的实施例涉及MEMS开关、电子装置以及电子香烟。一种MEMS开关，可由流体致动，包括：压电压力传感器；板，具有面和贯通孔，其中，压电压力传感器被固定到板的面，并且压电压力传感器包括：半导体材料的芯片，芯片具有覆盖贯通孔的贯通腔，并且贯通腔与贯通孔流体连接，以及敏感膜，在贯通腔之上延伸，并且敏感膜具有第一表面和第二表面；以及支撑壁，被配置为将板固定在分隔壁的开口中，分隔壁使第一空间和第二空间彼此相互分开，其中，敏感膜的第一表面面向第一空间，并且敏感膜的第二表面面向第二空间。根据本公开，提供了一种可由流体致动的MEMS开关。
基本信息
专利标题 ：
MEMS开关、电子装置以及电子香烟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022327175.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
CN214431791U
授权日 ：
2021-10-22
发明人 ：
E·杜奇F·塞利尼L·巴尔多
申请人 ：
意法半导体股份有限公司
申请人地址 ：
意大利阿格拉布里安扎
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
董莘
优先权 ：
CN202022327175.7
主分类号 ：
A24F40/40
IPC分类号 ：
A24F40/40 A24F40/51 A24F40/50 A24F40/46
IPC结构图谱
A
A部——人类生活必需
A24
烟草；雪茄烟；纸烟；模拟吸烟装置；吸烟者用品
A24F
吸烟者用品；火柴盒；模拟的吸烟装置
A24F40/40
结构细节，例如电池盒和电池部件的连接
法律状态
2021-10-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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