一种用CVD法涂覆硬质合金的装置
授权
摘要
本实用新型适用于涂层装置技术领域，提供了一种用CVD法涂覆硬质合金的装置，包括支撑底座、电源、反应箱体、电加热板、惰性气体进气管、第一反应气体进气管、第二反应气体进气管、显示屏、温度传感器和气压传感器，能够达到CVD法涂层所需要的条件，实现涂层功能，同时能够检测涂层反应的进行情况。
基本信息
专利标题 ：
一种用CVD法涂覆硬质合金的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022330868.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
CN213739670U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
刘平
申请人 ：
妙壳新材料科技（东莞）有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市长安镇霄边社区德政中路62号巨峰德荣工业园B栋一楼103
代理机构 ：
北京棘龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
聂颖
优先权 ：
CN202022330868.1
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/52
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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